ИССЛЕДОВАНИЯ СВОЙСТВ ПЕРЕХОДНОГО СЛОЯ Si-SiO2 В КРЕМНИЕВЫХ МДП-СТРУКТУРАХ

##plugins.themes.bootstrap3.article.main##

Далиев Х.С.

Annotatsiya

В состоянии исследования MDP-структуры, важные для интегральных схем и оптоэлектроники. С применением СС-ДЛЦ исследование свойств переходного слоя в системе металл-полупроводник-диэлектрик. Выявлены максимумы на Spectax, связанные с дефектами выходного терна. Показано влияние степени окисления и облучения на характерный пик, что подтверждает модель пространственного распределения свободных соединений в слое.

##plugins.themes.bootstrap3.article.details##

Bo‘lim
Fizika

Foydalaniladigan adabiyotlar

Мортина Т.Н., Мортин К.В., 2022 Научно-образовательный журнал для студентов и преподавателей «StudNet» №6/2022.с. 5348-5356

Petin V.A. "New features of Arduino, ESP, Raspberry Pi in IoT projects" BHVPetersburg, 2022, 320 p.

Yatsenkov V. S. "Health, sport and the environment in Arduino projects" BHVPetersburg, 2020, 336 p

Башкатов А.С., Мещерова Д.Н. Основные тенденции развития оптоэлектронной техники до 2030 года // Тезисы докладов Российской конференции и школы молодых ученых по актуальным проблемам полупроводниковой фотоэлектроники «Фотоника-2019». 2019. doi: 10.34077/rcsp2019-25. С.25-26.