ПОЛУЧЕНИЕ ТОНКИХ СЛОЁВ МОЛИБДЕНА МЕТОДОМ МСИР НА МОНОКРИСТАЛЛЫ КРЕМНИЯ

##plugins.themes.bootstrap3.article.sidebar##

Nashr qilingan: Nov 11, 2023

##plugins.themes.bootstrap3.article.main##

Музафарова С. А.
Хусанов З.М.
Махмудов М.А.
Кенжаева З.С.

Annotatsiya

В данной работе исследовано магнетронное распыление молибдена в инертной атмосфере аргона с целью создания термостойких кремниевых монокристаллов и структур для микроэлектроники. Распыление осуществляется путем бомбардировки мишени ионами рабочего газа в плазме аномального тлеющего разряда. Магнитное поле захватывает эмитированные электроны, обеспечивая их движение по сложным траекториям. Используются низковольтные системы распыления с высокой плотностью ионного тока. Оптимальные параметры включают рабочее напряжение, давление аргона и расстояние мишень-подложка. Важно обеспечивать чистоту остаточного вакуума для предотвращения образования оксидов и обеспечения стабильной работы магнетрона. Работа также рассматривает влияние замены кислорода на воздух в процессе получения оптически прозрачных покрытий.

##plugins.themes.bootstrap3.article.details##

Qanday qilib iqtibos keltirish kerak
Музафарова С. А., Хусанов З.М., Махмудов М.А., & Кенжаева З.С. (2023). ПОЛУЧЕНИЕ ТОНКИХ СЛОЁВ МОЛИБДЕНА МЕТОДОМ МСИР НА МОНОКРИСТАЛЛЫ КРЕМНИЯ. Farg’ona Davlat Universiteti Konferensiyalari, 241–244. Retrieved from https://conf.fdu.uz/index.php/conf/article/view/2345
Maqola
2023: Kondensatsiyalangan moddalar fizikasining rivojlanish tendentsiyalari
Bo‘lim
Fizika

Foydalaniladigan adabiyotlar

Каблов Е.Н. Инновационные разработки ФГУП «ВИАМ» ГНЦ РФ по реализации «Стратегических направлений развития материалов и технологий их переработки на период до 2030 года» // Авиационные материалы и технологии. –2015. №1 (34). – С. 3–33. DOI: 10.18577/2071-9140-2015-0-1-3-33.

Каблов Е.Н. Конструкционные и функциональные материалы – основа экономического и научно-технического развития России // Вопросы материаловедения. –2006. №1. –С. 64.

Kablov E.N., Kondrashov S.V., Yurkov G.Y. Prospects of using carbonaceous nanoparticles in binders for polymer composites // Nanotechnologies in Russia. 2013. Vol. 8. No. 3–4. Р. 163–185.

Данилин Б.С. Получение тонкопленочных слоев с помощью магнетронной системы ионного распыления. // Зарубежная радиоэлектроника. –1978 No. 4.– C.87-104.

Хохлов Ю.А., Богатов В.А., Крынин А.Г. Влияние распределения магнитного поля на свойства ITO покрытия, получаемого на полимерной пленке методом реактивного магнетронного осаждения // Труды ВИАМ: электрон. науч.-технич. журн. –2014. №12. Ст. 11. URL: http://viam-works.ru (дата обращения: 09.10. –2017). DOI: 10.18577/2307-6046-2014-0-12-11-11.