ОСОБЕННОСТИ ХИМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН НА СОЗДАНИЕ ДОЗИМЕТРИИ

Article Sidebar

PDF (Русский)
Published: нояб. 11, 2023
Keywords:
полупроводниковый детектор, монокристаллический кремний, диффузия, резка, шлифовка, химическая обработка, полировка.

Main Article Content

Рамизулла Муминов
Ахмет Саймбетов
Ёркин Тошмуродов
Махмуджон Явкочлиев

Abstract

В этой работе рассмотрены особенности технологической, механической и химической обработки (резка, шлифовка, химическая обработка, полировка, подготовка кристаллов для диффузии лития) для получения полупроводниковых детекторов.

Article Details

How to Cite
Муминов, Р., Саймбетов , А., Тошмуродов , Ё., & Явкочлиев , М. (2023). ОСОБЕННОСТИ ХИМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН НА СОЗДАНИЕ ДОЗИМЕТРИИ. Fergana State University Conference, 59. Retrieved from https://conf.fdu.uz/index.php/conf/article/view/2493
Issue
2023: Development trends in condensed matter physics
Section
Physic

References

С.А. Азимов, Р.А. Муминов, С.Х. Шамирзаев, А.Я. Яфасов Кремний - литиевые детекторы ядерного излучения –Ташкент: Фан. 1981. стр.- 257с.

Р.А. Муминов, С.А. Раджапов, Ё.К. Тошмуродов, Б.С. Раджапов Особенности технологии формирования Si(Li) p-i-n –детекторов ядерного излучения больших размеров Computationalnanotechnology – 2016. № 1. Стр. 62-66.

А.К. Саймбетов Особенности влияния границы раздела и протяженности области объемного заряда на электрофизические характеристики детекторных структур Автореф. Дис. кан. к.ф-м.н. - Ташкент: 2010. С. 4-18.

Yo.К. Тоshmurodov Position-Sensitive Detectors of Nuclear Radiation and a Study of their Current−Voltage Characteristic Instruments And Experimental Techniques - New York 2017 Vol. 60, No. 4, P. 605–607.